ನಿರ್ವಾತ ಘಟಕಗಳು

ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವು ಒಂದು ಸಂಯೋಜಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಅವುಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಲು ಆಮ್ಲಜನಕವನ್ನು ಸೇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಪ್ರಸರಣವು ಆಣ್ವಿಕ ಉಷ್ಣ ಚಲನೆಯ ಮೂಲಕ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಪ್ರದೇಶದಿಂದ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಪ್ರದೇಶಕ್ಕೆ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಚಲಿಸುವುದು, ಮತ್ತು ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ತಲಾಧಾರದಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಡೋಪಿಂಗ್ ಪದಾರ್ಥಗಳನ್ನು ಡೋಪ್ ಮಾಡಲು ಬಳಸಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕಗಳ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು.